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纳米压印技术

作者：孙洪文

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所属分类:

科学技术 >> 工业技术

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内容简介:

本选题详细介绍了纳米压印及相关技术的工艺、原理、仿真、应用和展望。纳米压印技术是在纳米尺度获得复制结构的一种成本低而速度快的方法，它可以大批量重复性地在大面积上制备纳米图案结构，并且所制出的高分辨率图案具有相当好的均匀性和重复性。不仅可以供从事微电子、微纳加工、纳米技术的科技人员参考，也由于纳米压印技术应用的广泛性，亦可作为广大从事化学、生物、医学、光电子、磁学等领域的科研人员开拓研究思路的参考书。本书深入浅出，通俗易懂，亦可作为科普读物。