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微电子生产设备安装工程施工及验收规范（GB 50467-2008）

作者：中华人民共和国工业和信息化部

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科学技术 >> 工业技术

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内容简介:

本规范适用于集成电路、半导体分立器件生产设备安装工程的施工及验收。本规范不包括集成电路及半导体分立器件生产设备联动调试及试生产。

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