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集成电路先进工艺制造

作者：陆卫

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科学技术 >> 工业技术

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内容简介:

本书是理论学习与实践操作之间的桥梁，对于集成电路领域，特别是专业人才的培养具有重要的价值。（1）工艺、设备与厂务技术的有机结合：覆盖了集成电路制造过程中的关键技术、设备与厂务动力配套，详细介绍了芯片生产的各个环节。（2）强实践：具有大量案例分析和实践视频等，强调实践技能的训练。（3）先进设备的介绍：不仅详细介绍了当前主流的制造技术，还对产业界的量产设备（如步进式光刻机）进行了全方位介绍，使读者能够领略到产业界所使用的光刻机与科研设备之间的区别。（4）协作性：汇聚了产学研用多方的力量，不仅有来自上海科技大学的学术支持，还有众多产业界专家的实践经验分享，内容权威。